軟管泵在半導體行業的應用

軟管泵在半導體行業的應用
中國是世界上的電子產品制造國，也因此成為世界上的半導體消費國，約占全球消耗量的40.5%。現在半導體企業已把技術含量相對較低、勞動密集型的產業鏈環節向我國轉移，我國半導體產業已成為產業鏈的一環。2014年中國大陸集成電路產業銷售額預計增速將超過18%，產業規模超過2,500億元，其中集成電路設計增速將超過30%，子產業規模進一步提升至810億元，全行業占比提升至32%左右。

“十二五”期間，中國正在試圖重拾為期20年的芯片行業發展規劃，宣布在2010-2020年300億美元用于半導體設計與制造。地方各級也計劃同期250億到300億美元。

半導體行業工藝流程---IC產業?

晶圓制作流程?

VERDERFLEX軟管泵在該行業中，主要應用在晶圓、芯片、IC、LED、TFT-LCD廢 水 處 理 系 統中的加環節。

半導體制作過程會產生大量的廢水，必須小心的處理，以免危害環境。一般而言，廢水的來源可以分成制造廢水、超純水的制造排水與排氣洗凈水等三大類。如果依性質分類課可以分成酸堿廢水、含氟廢水、物廢水，研磨廢水與重金屬廢水等五類。

廢水處理系統使用多的是化學沉淀法 ：

化學沉淀法為利用法學劑與溶解的離子發生法學反應產生不溶解性沉淀物，含氟廢水的處理即利用鈣離子與氟離子發生反應結合成氟化鈣粒子沉淀去除之。

主要化學反應式： Ca2+ + 2F- → CaF2↓ Ksp = 3.4*10-11

為了降低氟離子殘存濃度，一般可以提高所添加的鈣濃度以預期處理效果。鈣離子的選用來源可以由石灰石、消石灰、氯化鈣等提供。

所添加的石灰石、消石灰、氯化鈣等劑則需要由VERDERFLEX軟管泵輸送。